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Sulfonium, triphenyl-, 2,3,4,5,6-pentafluorobenzenesulfonate (1:1)

ProductNum CAS No. MDL No. PubChem ID Formula MW Purity Appearance
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Product Name Sulfonium, triphenyl-, 2,3,4,5,6-pentafluorobenzenesulfonate (1:1)
CAS153698-46-5
ProductNumYH84012
FormulaC24H15F5O3S2
MW510.04

電子級(jí)三苯基磺鎓五氟苯磺酸鹽 (1:1)(Sulfonium, triphenyl-, 2,3,4,5,6-pentafluorobenzenesulfonate是一種重要的光酸生成劑,廣泛應(yīng)用于高端電子材料的制造中。該產(chǎn)品以其高純度和出色的光敏性而著稱,適用于電子級(jí)應(yīng)用中的光刻膠和光刻工藝。作為一種光引發(fā)劑,它能夠在特定波長的光照下分解產(chǎn)生酸,進(jìn)而引發(fā)后續(xù)化學(xué)反應(yīng),是先進(jìn)光刻技術(shù)中關(guān)鍵的化學(xué)品之一。特別是在半導(dǎo)體和微電子制造中,Sulfonium, triphenyl-, 2,3,4,5,6-pentafluorobenzenesulfonate(1:1)的應(yīng)用能夠有效提升工藝精度和產(chǎn)品質(zhì)量。

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[物理性質(zhì)]

化學(xué)名稱:三苯基磺鎓五氟苯磺酸鹽

英文名稱:Sulfonium, triphenyl-, 2,3,4,5,6-pentafluorobenzenesulfonate (1:1)

分子式:C24H15F5O3S2

分子量:510.04

結(jié)構(gòu)特點(diǎn):該化合物由一個(gè)三苯基磺鎓陽離子和一個(gè)五氟苯磺酸陰離子組成,具有較高的電子親和性和穩(wěn)定性。

外觀與狀態(tài)

外觀:白色或淡黃色晶體粉末

熔點(diǎn):110-120°C

溶解性:可溶于多種有機(jī)溶劑,如丙酮、二氯甲烷和甲醇,難溶于水。

純度與穩(wěn)定性

純度:≥99.5%(電子級(jí))

穩(wěn)定性:在室溫條件下穩(wěn)定,避免長時(shí)間暴露于強(qiáng)光和高溫環(huán)境中,以防止光分解。

儲(chǔ)存條件:建議在干燥、避光的環(huán)境中儲(chǔ)存,并密封保存以防吸濕。

[應(yīng)用領(lǐng)域]

光刻膠中的應(yīng)用

(1)作為光酸生成劑,三苯基磺鎓五氟苯磺酸鹽(1:1)在光刻膠中用于生成酸性活性物質(zhì),從而促進(jìn)光致反應(yīng),提高光刻膠的感光效率。

(2)該化合物在深紫外(DUV)和極紫外(EUV)光刻膠中表現(xiàn)出優(yōu)異的光敏性,適用于高精度微電子器件的制造。

(3)由于其高純度和低金屬離子含量,能夠有效減少光刻過程中雜質(zhì)的引入,提高芯片的良率。

半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用

(1)三苯基磺鎓五氟苯磺酸鹽(1:1)作為光引發(fā)劑,廣泛用于半導(dǎo)體器件的微細(xì)加工過程中,特別是在蝕刻和涂層工藝中。

(2)它可以在特定波長光照下分解產(chǎn)生強(qiáng)酸,有助于提高蝕刻精度,滿足納米級(jí)工藝要求。

(3)該產(chǎn)品在先進(jìn)封裝技術(shù)中也有應(yīng)用,尤其是在高密度互連和三維集成電路制造中,能夠提高工藝控制能力。

顯示器制造中的應(yīng)用

(1)在顯示器生產(chǎn)過程中,三苯基磺鎓五氟苯磺酸鹽(1:1)用于光刻和涂布工藝,幫助實(shí)現(xiàn)高分辨率的顯示效果。

(2)其優(yōu)異的光敏性能使其適用于生產(chǎn)薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)和有機(jī)發(fā)光二極管顯示器(OLED),顯著提升圖像質(zhì)量和顯示亮度。

(3)在柔性顯示器制造中,該產(chǎn)品的高純度和低污染特性有助于減少瑕疵,提高顯示器的良率和壽命。

總結(jié)

電子級(jí)三苯基磺鎓五氟苯磺酸鹽 (1:1) 作為一種高效的光酸生成劑,憑借其優(yōu)異的光敏性能和高純度,已成為半導(dǎo)體和顯示器制造領(lǐng)域的重要材料。在光刻膠、蝕刻和微細(xì)加工等應(yīng)用中,該化合物能夠顯著提高工藝精度和產(chǎn)品質(zhì)量,是現(xiàn)代電子制造工藝中不可或缺的核心化學(xué)品。


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86-571-82693216
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