英文名稱 | 2,3,4,4'-Tetrahydroxybenzophenone 1,2-naphthoquinonediazido-5-sulfonate |
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中文名稱 | 電子級 2,3,4,4'-四羥基二苯甲酮 1,2-二疊氮基萘醌-5-磺酸酯 |
CAS號 | 107761-81-9 |
產品編號 | YH68663 |
分子式 | C23H16N2O9S |
分子量 | 496.45 |
英文名稱 | 2,3,4,4'-Tetrahydroxybenzophenone 1,2-naphthoquinonediazido-5-sulfonate |
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中文名稱 | 電子級 2,3,4,4'-四羥基二苯甲酮 1,2-二疊氮基萘醌-5-磺酸酯 |
CAS號 | 107761-81-9 |
產品編號 | YH68663 |
分子式 | C23H16N2O9S |
分子量 | 496.45 |
電子級2,3,4,4'-四羥基二苯甲酮 1,2-二疊氮基萘醌-5-磺酸酯是一種功能性光敏化合物,結合了多羥基二苯甲酮的紫外吸收性能與疊氮基的光反應特性,廣泛應用于高端光刻膠和光敏材料中。其穩(wěn)定的分子結構和優(yōu)異的電子級純度使其成為微電子領域關鍵的光敏添加劑。
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【物理性質】
基本性質
(1)化學名稱:2,3,4,4'-四羥基二苯甲酮 1,2-二疊氮基萘醌-5-磺酸酯。
(2)分子式:C23H16N2O9S
(3)分子量:496.45 g/mol
外觀與溶解性
(1)外觀:淺黃色至橙色粉末或結晶。
(2)溶解性:易溶于二甲基亞砜(DMSO)、甲醇等極性有機溶劑。
熱穩(wěn)定性與純度
(1)熱穩(wěn)定性:分解溫度高于180℃。
(2)純度:≥99.5%,符合電子級質量要求。
【應用領域】
光刻膠制造
(1)作為光敏材料的關鍵成分,增強光刻膠對紫外光的響應速度。
(2)支持深紫外(DUV)和極紫外(EUV)光刻工藝,滿足高分辨率需求。
電子材料生產
(1)應用于光刻膠掩膜、光敏涂層等高性能電子材料中。
(2)提高微電子元器件的制造精度和光敏性能。
其他光敏應用
(1)用于高端顯示器和柔性電子產品制造中的光敏技術。
(2)在光化學反應中作為光引發(fā)劑,提高反應效率與選擇性。