英文名稱 | BIS -LRB-4-tert-butyl phenyl) iodide chloride |
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中文名稱 | 電子級 雙(4-叔丁基苯基)氯化碘鹽 |
CAS號 | 0-0-YH84024 |
產(chǎn)品編號 | YH84024 |
分子式 | C20H26ClI |
分子量 | 428.08 |
英文名稱 | BIS -LRB-4-tert-butyl phenyl) iodide chloride |
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中文名稱 | 電子級 雙(4-叔丁基苯基)氯化碘鹽 |
CAS號 | 0-0-YH84024 |
產(chǎn)品編號 | YH84024 |
分子式 | C20H26ClI |
分子量 | 428.08 |
電子級雙(4-叔丁基苯基)氯化碘鹽是一種高純度、特殊設(shè)計的有機(jī)化學(xué)品,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造和光刻工藝中。作為一種具有強(qiáng)烈電負(fù)性的化合物,雙(4-叔丁基苯基)氯化碘鹽可以作為高效的光酸生成劑,適用于先進(jìn)的光刻膠配方。該化合物以其優(yōu)異的光敏性能和化學(xué)穩(wěn)定性,在微電子領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用,特別是在高精度圖案轉(zhuǎn)移和微結(jié)構(gòu)制造中。
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【基本性質(zhì)】
化學(xué)名稱:雙(4-叔丁基苯基)氯化碘鹽
英文名稱: BIS -LRB-4-tert-butyl phenyl) iodide chloride
分子式:C20H26ClI
分子量:428.08
外觀:黃色至橙色固體
溶解性:可溶于有機(jī)溶劑如二甲基亞硫酰胺(DMSO)、N-甲基吡咯烷酮(NMP)等,溶解度較低于水
熔點(diǎn):約150-160℃
分解溫度:>230℃
儲存條件:應(yīng)存放在干燥、陰涼、避光環(huán)境中,避免溫度過高,推薦儲存溫度不超過25℃
【應(yīng)用領(lǐng)域】
光刻膠材料
作為一種光酸生成劑,雙(4-叔丁基苯基)氯化碘鹽能夠在光照下釋放強(qiáng)酸,促進(jìn)光刻膠的化學(xué)反應(yīng),優(yōu)化圖案分辨率和分辨度。
(1)適用于先進(jìn)半導(dǎo)體光刻膠配方,特別是用于KrF、ArF以及EUV光刻工藝。
(2)在高精度光刻過程中,提供優(yōu)異的分辨率和圖案清晰度,滿足微小結(jié)構(gòu)的制造需求。
半導(dǎo)體制造
在半導(dǎo)體制造過程中,該產(chǎn)品作為光刻膠的增感劑,能夠有效提高曝光靈敏度和圖案轉(zhuǎn)移的精度。
(1)通過提高光刻膠的反應(yīng)性,提升圖案的精度和質(zhì)量。
(2)在微米級及亞微米級的半導(dǎo)體工藝中,確保光刻過程中的細(xì)節(jié)精準(zhǔn)無誤。
電子材料與功能涂層
該化合物還可以作為功能性涂層的催化劑或助劑,改善電子元件的表面性能和熱穩(wěn)定性。
(1)在電子封裝領(lǐng)域,增強(qiáng)材料的耐熱性和抗氧化性,延長設(shè)備使用壽命。
(2)可用于電子器件的表面處理和功能化涂層,提供額外的光學(xué)穩(wěn)定性和電氣性能